කැටයම් කිරීම

ප්‍රභාරසායනික ලෝහ කැටයම් කිරීම

පරිගණක ආධාරක නිර්මාණය (CAD) භාවිතා කිරීම

ප්‍රකාශ රසායනික ලෝහ කැටයම් කිරීමේ ක්‍රියාවලිය ආරම්භ වන්නේ CAD හෝ Adobe Illustrator භාවිතයෙන් මෝස්තරයක් නිර්මාණය කිරීමෙනි.සැලසුම ක්‍රියාවලියේ පළමු පියවර වුවද, එය පරිගණක ගණනය කිරීම් වල අවසානය නොවේ.විදැහුම්කරණය අවසන් වූ පසු, ලෝහයේ ඝණකම මෙන්ම පත්රය මත ගැලපෙන කෑලි සංඛ්යාව තීරණය කරනු ලැබේ, නිෂ්පාදන පිරිවැය අඩු කිරීම සඳහා අවශ්ය සාධකයකි.පත්රයේ ඝණකමෙහි දෙවන අංගය වන්නේ කොටස් මානයන් මත රඳා පවතින කොටස් ඉවසීම තීරණය කිරීමයි.

ප්‍රකාශ රසායනික ලෝහ කැටයම් කිරීමේ ක්‍රියාවලිය ආරම්භ වන්නේ CAD හෝ Adobe Illustrator භාවිතයෙන් නිර්මාණයක් නිර්මාණය කිරීමෙනි.කෙසේ වෙතත්, මෙය පරිගණක ගණනය කිරීම පමණක් නොවේ.සැලසුම සම්පූර්ණ කිරීමෙන් පසු, ලෝහයේ ඝණකම තීරණය කරනු ලැබේ, නිෂ්පාදන පිරිවැය අඩු කිරීම සඳහා පත්රයක් මත සවි කළ හැකි කෑලි සංඛ්යාව.අමතර වශයෙන්, කොටස් ඉවසීම කොටස් මානයන් මත රඳා පවතී, එය පත්රයේ ඝනකමට ද සාධක වේ.

ප්‍රභාරසායනික-ලෝහ-ඇට කිරීම01

ලෝහ සකස් කිරීම

ඇසිඩ් කැටයම් කිරීමේදී මෙන්, ලෝහය සැකසීමට පෙර හොඳින් පිරිසිදු කළ යුතුය.සෑම ලෝහ කැබැල්ලක්ම ජල පීඩනය සහ මෘදු ද්‍රාවකයක් භාවිතයෙන් පිරිසිදු කර පිරිසිදු කර පිරිසිදු කර ඇත.මෙම ක්රියාවලිය තෙල්, දූෂක සහ කුඩා අංශු ඉවත් කරයි.ආරක්ෂිතව පිළිපැදීම සඳහා ෆොටෝරෙස්ට් චිත්රපටයේ යෙදීම සඳහා සුමට පිරිසිදු මතුපිටක් සැපයීම සඳහා මෙය අවශ්ය වේ.

ඡායා ප්‍රතිරෝධී චිත්‍රපට සහිත ලැමිෙන්ටින් ලෝහ තහඩු

ලැමිනේෂන් යනු photoresist චිත්රපටයේ යෙදුමයි.ලෝහ තහඩු ආලේප කරන රෝලර් අතර චලනය වන අතර ලැමිනේෂන් ඒකාකාරව යොදනු ලැබේ.ෂීට් අනවශ්‍ය ලෙස නිරාවරණය වීම වළක්වා ගැනීම සඳහා, UV ආලෝකයට නිරාවරණය වීම වැළැක්වීම සඳහා කහ ආලෝකයෙන් ආලෝකමත් කරන ලද කාමරයක ක්‍රියාවලිය සම්පූර්ණ කරනු ලැබේ.තහඩු නිසි ලෙස පෙළගැස්වීම තහඩු වල දාරවල සිදුරු කර ඇත.ලැමිෙන්ටඩ් ආලේපනයෙහි බුබුලු වැකුම් මුද්‍රා තැබීමෙන් වළක්වනු ලැබේ, එමඟින් ලැමිෙන්ට් ස්ථර සමතලා කරයි.

ප්‍රකාශ රසායනික ලෝහ කැටයම් කිරීම සඳහා ලෝහය සකස් කිරීම සඳහා, තෙල්, දූෂක සහ අංශු ඉවත් කිරීම සඳහා එය හොඳින් පිරිසිදු කළ යුතුය.ෆොටෝරෙස්ට් චිත්රපටයේ යෙදීම සඳහා සුමට පිරිසිදු මතුපිටක් සහතික කිරීම සඳහා සෑම ලෝහ කැබැල්ලක්ම මෘදු ද්රාවණයකින් සහ ජල පීඩනයකින් සෝදා පිරිසිදු කර සෝදා ඇත.

මීලඟ පියවර වන්නේ ලැමිනේෂන්, ලෝහ තහඩු සඳහා ෆොටෝරෙස්ට් චිත්රපටය යෙදීමයි.තහඩු ඒකාකාරව ආලේප කිරීම සහ චිත්රපටය යෙදීම සඳහා රෝලර් අතර මාරු කරනු ලැබේ.පාරජම්බුල කිරණවලට නිරාවරණය වීම වැළැක්වීම සඳහා කහ ආලෝකය සහිත කාමරයක ක්රියාවලිය සිදු කරනු ලැබේ.තහඩු වල දාරවල සිදුරු කරන ලද සිදුරු නිසි පෙළගැස්මක් සපයන අතර රික්ත මුද්‍රා තැබීම ලැමිෙන්ට් ස්ථර සමතලා කර බුබුලු සෑදීම වළක්වයි.

කැටයම් කිරීම02

Photoresist සැකසුම්

photoresist සැකසුම් අතරතුර, CAD හෝ Adobe Illustrator විදැහුම්කරණයෙන් ලැබෙන රූප ලෝහ පත්‍රය මත photoresist ස්තරය මත තබා ඇත.CAD හෝ Adobe Illustrator විදැහුම්කරණය ලෝහ පත්‍රයේ දෙපස මුද්‍රණය කර ඇත්තේ ඒවා ලෝහයට උඩින් සහ යටින් සැන්ඩ්විච් කිරීමෙනි.ලෝහ තහඩුවලට රූප යෙදූ පසු, ඒවා පාරජම්බුල කිරණවලට නිරාවරණය වන අතර එමඟින් රූප ස්ථිරව තබා ඇත.පාරජම්බුල කිරණ ලැමිනේට් වල පැහැදිලි ප්‍රදේශ හරහා බැබළෙන විට, ප්‍රකාශනකාරකය ස්ථීර වී දැඩි වේ.ලැමිෙන්ට් වල කළු ප්‍රදේශ මෘදු වන අතර UV ආලෝකයේ බලපෑමකින් තොරව පවතී.

ප්‍රභාරසායනික ලෝහ කැටයම් කිරීමේ ප්‍රභා ප්‍රතිරෝධක සැකසුම් අවධියේදී, CAD හෝ Adobe Illustrator නිර්මාණයෙන් ලැබෙන රූප ලෝහ පත්‍රයේ ඇති ප්‍රකාශන ස්තරය මතට මාරු කරනු ලැබේ.මෙය සිදු කරනු ලබන්නේ ලෝහ පත්රය උඩින් සහ යටින් මෝස්තරය සැන්ඩ්විච් කිරීමෙනි.රූප ලෝහ පත්‍රයට යෙදූ පසු එය පාරජම්බුල කිරණවලට නිරාවරණය වන අතර එමඟින් රූප ස්ථිර වේ.

පාරජම්බුල කිරණ නිරාවරණය අතරතුර, ලැමිෙන්ට් වල පැහැදිලි ප්‍රදේශ පාරජම්බුල කිරණ හරහා ගමන් කිරීමට ඉඩ සලසයි, එමඟින් ප්‍රභා ප්‍රතිරෝධය දැඩි වී ස්ථීර වේ.ඊට ප්රතිවිරුද්ධව, ලැමිෙන්ට් වල කළු පැහැති ප්රදේශ මෘදු වන අතර UV ආලෝකයෙන් බලපෑමට ලක් නොවේ.මෙම ක්‍රියාවලිය මඟින් කැටයම් කිරීමේ ක්‍රියාවලියට මඟ පෙන්වන රටාවක් නිර්මාණය කරයි, එහිදී දැඩි වූ ප්‍රදේශ පවතිනු ඇති අතර මෘදු ප්‍රදේශ ඉවත් කරනු ලැබේ.

Photoresist-processing01

තහඩු සංවර්ධනය කිරීම

ප්‍රභා ප්‍රතිරෝධක සැකසීමේ සිට, පත්‍ර ක්ෂාර ද්‍රාවණයක් යොදන සංවර්ධනය වෙමින් පවතින යන්ත්‍රය වෙත ගමන් කරයි, බොහෝ දුරට සෝඩියම් හෝ පොටෑසියම් කාබනේට් ද්‍රාවණ, කොටස් නිරාවරණය වීමට ඉඩ හැර මෘදු ප්‍රභා ප්‍රතිරෝධක පටලය සෝදා හරියි.මෙම ක්‍රියාවලිය මෘදු ප්‍රතිරෝධය ඉවත් කරන අතර තද කළ යුතු ප්‍රතිරෝධය ඉවත් කරයි, එය කැටයම් කළ යුතු කොටස වේ.පහත රූපයේ, තද කළ ප්‍රදේශ නිල් පැහැයෙන් යුක්ත වන අතර මෘදු ප්‍රදේශ අළු පැහැයෙන් යුක්ත වේ.දැඩි වූ ලැමිෙන්ට් මගින් ආරක්ෂා නොකළ ප්‍රදේශ නිරාවරණ ලෝහ වන අතර ඒවා කැටයම් කිරීමේදී ඉවත් කරනු ලැබේ.

ප්‍රභා ප්‍රතිරෝධක සැකසුම් අදියරෙන් පසුව, ලෝහ තහඩු පසුව ක්ෂාර ද්‍රාවණයක්, සාමාන්‍යයෙන් සෝඩියම් හෝ පොටෑසියම් කාබනේට් යොදනු ලබන සංවර්ධනය වන යන්ත්‍රයට මාරු කරනු ලැබේ.මෙම ද්‍රාවණය මෘදු ප්‍රභා ප්‍රතිරෝධක පටලය සෝදා හරින අතර, කැටයම් කළ යුතු කොටස් නිරාවරණය වේ.

එහි ප්රතිඵලයක් වශයෙන්, මෘදු ප්රතිරෝධය ඉවත් කරනු ලබන අතර, කැටයම් කළ යුතු ප්රදේශ වලට අනුරූප වන දැඩි ප්රතිරෝධකයක් ඉතිරි වේ.එහි ප්රතිඵලයක් වශයෙන්, දැඩි වූ ප්රදේශ නිල් පැහැයෙන් දැක්වෙන අතර, මෘදු ප්රදේශ අළු වේ.දෘඩ ප්‍රතිරෝධය මගින් ආරක්‍ෂිත නොවන ප්‍රදේශ නිරූපනය කරන්නේ කැටයම් කිරීමේ ක්‍රියාවලියේදී ඉවත් කෙරෙන නිරාවරණය වූ ලෝහය.

පත්‍ර සංවර්ධනය කිරීම01

කැටයම් කිරීම

ඇසිඩ් කැටයම් කිරීමේ ක්‍රියාවලිය මෙන්, සංවර්ධිත පත්‍ර වාහකයක් මත තබා ඇති අතර එමඟින් තහඩු මත එචාන්ට් වත් කරන යන්ත්‍රයක් හරහා තහඩු ගෙන යයි.නිරාවරණ ලෝහය සමඟ එචාන්ට් සම්බන්ධ වන විට, එය ආරක්ෂිත ද්‍රව්‍ය හැර ලෝහය විසුරුවා හරියි.

බොහෝ ප්‍රභාරසායනික ක්‍රියාවලි වලදී, එචන්ට් යනු ෆෙරික් ක්ලෝරයිඩ් වන අතර එය වාහකයේ පහළ සහ ඉහළ සිට ඉසිනු ලැබේ.ෆෙරික් ක්ලෝරයිඩ් භාවිතා කිරීමට ආරක්ෂිත සහ ප්‍රතිචක්‍රීකරණය කළ හැකි බැවින් එය එච්චන් එකක් ලෙස තෝරාගෙන ඇත.කුප්රික් ක්ලෝරයිඩ් තඹ සහ එහි මිශ්‍ර ලෝහ කැටයම් කිරීමට භාවිතා කරයි.

කැටයම් කිරීමේ ක්‍රියාවලිය ප්‍රවේශමෙන් කාල නියම කළ යුතු අතර සමහර ලෝහ අනෙක් ඒවාට වඩා කැටයම් කිරීමට වැඩි කාලයක් ගත වන බැවින් කැටයම් කරන ලෝහයට අනුකූලව පාලනය වේ.ප්‍රකාශරසායනික කැටයම් කිරීමේ සාර්ථකත්වය සඳහා, ප්‍රවේශමෙන් නිරීක්ෂණය කිරීම සහ පාලනය කිරීම ඉතා වැදගත් වේ.

ප්‍රකාශ රසායනික ලෝහ කැටයම් කිරීමේ අදියරේදී, සංවර්ධිත ලෝහ තහඩු වාහකයක් මත තබා ඇති අතර එමඟින් තහඩු මතට එචාන්ට් වත් කරන යන්ත්‍රයක් හරහා ඒවා ගෙන යයි.etchant මගින් නිරාවරණය වූ ලෝහය විසුරුවා හරින අතර, පත්රයේ ආරක්ෂිත ප්රදේශ ඉතිරි වේ.

ෆෙරික් ක්ලෝරයිඩ් බොහෝ ප්‍රභාරසායනික ක්‍රියාවලීන්හි නිමැවුම් ද්‍රව්‍යයක් ලෙස භාවිතා කරනුයේ එය භාවිතා කිරීමට ආරක්ෂිත වන අතර ප්‍රතිචක්‍රීකරණය කළ හැකි බැවිනි.තඹ සහ එහි මිශ්ර ලෝහ සඳහා, කුප්රික් ක්ලෝරයිඩ් වෙනුවට භාවිතා වේ.

සමහර ලෝහවලට අනෙක් ඒවාට වඩා දිගු කැටීමේ වේලාවන් අවශ්‍ය වන බැවින්, කැටයම් කිරීමේ ක්‍රියාවලිය ප්‍රවේශමෙන් කාලෝචිත කර, අඳින ලද ලෝහ වර්ගය අනුව පාලනය කළ යුතුය.ප්‍රකාශ රසායනික කැටයම් කිරීමේ ක්‍රියාවලියේ සාර්ථකත්වය සහතික කිරීම සඳහා, ප්‍රවේශමෙන් අධීක්ෂණය සහ පාලනය ඉතා වැදගත් වේ.

කැටයම් කිරීම

ඉතිරි ප්‍රතිරෝධ චිත්‍රපටය ඉවත් කිරීම

ඉවත් කිරීමේ ක්‍රියාවලියේදී, ඉතිරිව ඇති ප්‍රතිරෝධක පටලයක් ඉවත් කිරීම සඳහා කැබලිවලට ප්‍රතිරෝධක තීරුවක් යොදනු ලැබේ.ඉවත් කිරීම අවසන් වූ පසු, නිමි කොටස ඉතිරි වේ, එය පහත රූපයේ දැකිය හැකිය.

කැටයම් කිරීමේ ක්‍රියාවලියෙන් පසු, ලෝහ පත්‍රයේ ඉතිරිව ඇති ප්‍රතිරෝධක පටලය ප්‍රතිරෝධක තීරුවක් යෙදීමෙන් ඉවත් කරනු ලැබේ.මෙම ක්‍රියාවලිය ලෝහ පත්‍රයේ මතුපිටින් ඉතිරිව ඇති ප්‍රතිරෝධක පටලයක් ඉවත් කරයි.

ඉවත් කිරීමේ ක්රියාවලිය අවසන් වූ පසු, නිමි ලෝහ කොටස ඉතිරි වන අතර, ප්රතිඵලය රූපයේ දැකිය හැකිය.

ඉතිරි-ප්‍රතිරෝධය-චිත්‍රපටය ඉවත් කිරීම01